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超聲波氣靜壓電主軸
發(fā)明專利號201911122869.2;氣靜壓電主軸,旋轉(zhuǎn)精度0.1um;額定轉(zhuǎn)速8萬轉(zhuǎn)/分,額定功率1.5KW;超聲波頻率范圍2~5萬Hz可調(diào);超聲波振幅范圍3~6um可調(diào)。(公示階段)
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碳化硅晶圓劃片超聲波主軸
實用新型專利號201921979720.1,發(fā)明專利號201911122869.2(公示);超精密氣靜壓主軸,主軸額定轉(zhuǎn)速6萬rpm,旋轉(zhuǎn)精度0.1um,永磁同步電機,無級調(diào)速;有超聲和無超聲雙工作方式,超聲波頻率2~5萬Hz 可調(diào),振幅1~3um可調(diào);高速、高效,一軸兩用。
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碳化硅晶圓減薄超聲波主軸
實用新型專利號202022644251.7,發(fā)明專利號201911122869.2(公示);超精密氣靜壓主軸,主軸旋轉(zhuǎn)精度0.1um,永磁同步電機,高精度編碼器,無級調(diào)速;有超聲和無超聲雙工作方式,超聲波頻率2~5萬Hz 可調(diào),振幅1~3um可調(diào);高速、高效,一軸兩用。
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氣靜壓(氣�。⿲�(dǎo)軌
發(fā)明專利號201510300840.4;超高精度,直線度可達0.3um/m;無摩擦,不磨損,長壽命;運行高速、動態(tài)平穩(wěn);低耗氣量,低碳綠色環(huán)保。
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超精密內(nèi)外圓磨床
發(fā)明專利號201110213261.8;旋轉(zhuǎn)精度0.1um超聲波氣靜壓電主軸;直線度0.3um氣靜壓導(dǎo)軌,直線電機,精密光柵尺,高精度數(shù)控系統(tǒng)全閉環(huán)控制,天然花崗巖床身,空氣彈簧減震。
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超精密光學(xué)曲線磨床
發(fā)明專利2項,實用新型專利2項;氣靜壓電主軸,旋轉(zhuǎn)精度0.1um;氣靜壓導(dǎo)軌,直線度0.3um/m;直線電機,光柵尺,數(shù)控系統(tǒng)全閉環(huán)控制;光學(xué)成像,花崗巖床身,空氣彈簧減震。
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公司簡介
洛陽傳順機械設(shè)備有限公司注冊成立于2008年9月,是一家股份制高新技術(shù)企業(yè)。公司專業(yè)從事超精密氣靜壓主軸以及裝備的研發(fā)制造銷售。 公司先后被認定為:河南省科技型中小企業(yè);洛陽市納米加工裝備技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心;河南省高新技術(shù)企業(yè);通過ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認證。 大事記 1、2008年9月1日洛陽傳順機械設(shè)備有限公司注冊成立。 2、2009年推出“高精度劃片機氣靜壓電主軸”,獲得多項實用新型專利。 3、2010年推出“超精密氣靜壓內(nèi)外圓磨床”,獲得國家發(fā)明專利。 4、2013年推出“超精密氣浮導(dǎo)軌”,獲得國家發(fā)明專利。 5、2018年成功制造出“光刻機氣浮導(dǎo)軌”,在客戶光刻機上使用 ...

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